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FE-5700 OTSUKA大冢-膜厚測量系統(tǒng) OTSUKA大冢-膜厚測量系統(tǒng)FE-5700OTSUKA大冢-膜厚測量系統(tǒng)FE-5700
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RH50 OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng) 對(duì)應(yīng)微LED等微小樣品的配光測定系統(tǒng)RH50.。 與光學(xué)模擬軟件的聯(lián)合是可能的，可以簡單地高速取得2π空間全方位的光線。50×50mm尺寸以上請(qǐng)看GP-7 series。OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng)RH50OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng)RH50
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SF-3Rθ OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng) *多可以快速映射12inch晶片OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
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SF-3Rθ OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
