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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測(cè)器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無(wú)塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛(ài)睦威地震儀、HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
南京供應(yīng)HORIBA崛場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ
UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。
詳情介紹：
南京供應(yīng)HORIBA崛場(chǎng)在線監(jiān)控橢偏儀UVISEL Plus In-Situ國(guó)內(nèi)各區(qū)域供應(yīng)
- 高速、準(zhǔn)確
- 完整集成了實(shí)時(shí)測(cè)量、建模和報(bào)告軟件包
- 便于在線和離線間切換
可獲得的信息
- 薄膜厚度
- 光學(xué)常數(shù)（n,k）
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材料組成
- 光譜范圍：190-885 nm，可擴(kuò)展至 190-2100 nm
- 光源：75W氙燈或150W氙燈
- 探測(cè)系統(tǒng)：?jiǎn)吸c(diǎn)或?qū)崟r(shí)光譜采集使用高靈敏度，寬動(dòng)態(tài)范圍的PMT探測(cè)器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
- 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
- 機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭
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