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光照射裝置
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點(diǎn)光源曝光
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變壓型電源供應(yīng)器
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超高壓短弧汞燈
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UV光洗凈
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UV曝光裝置
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uv固化裝置
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紫外可見(jiàn)光光度計(jì)
|
膜厚測(cè)量裝置 |
FILMETRICS制 F50 |
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光刻劑 |
OFPR-800LB（東京奧卡制造） |
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基板尺寸 |
6 inch硅晶圓 |
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目標(biāo)膜厚 |
1微米 |
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膜厚分布 |
±0.6% |
功能
■ 采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
● 無(wú)刷式，不會(huì)造成無(wú)塵室汚染。
● 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對(duì)膜厚再現(xiàn)性的影響。
● 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■ 擴(kuò)張程序功能
● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式真空計(jì)
■ 方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置，超方便
■ **裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
● 由于薄膜或晶圓容易破裂， 而降低吸附壓力時(shí)，可以變更**裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。
蘇州代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
無(wú)錫代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
昆山代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
上海代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
南京代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B200密閉型
刷涂機(jī)、刮涂機(jī)、噴涂機(jī)
聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號(hào)）
對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
