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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：代理Otsuka大塚電子OPTM測(cè)厚儀

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    代理Otsuka大塚電子OPTM測(cè)厚儀 覆層膜厚儀 層測(cè)厚儀 厚度測(cè)量 非接觸式厚度測(cè)量?jī)x
    詳情介紹：

    塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營(yíng)各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品，聯(lián)系人：張小姐

    聯(lián)系電話：15902189399  


    產(chǎn)品信息

    特點(diǎn)
    • 膜厚測(cè)定范圍1nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
    • 膜厚值高重復(fù)精度
    • 1 點(diǎn) 1 秒以內(nèi)的高速測(cè)量
    • 微小點(diǎn)（*小 3μm）可瞄準(zhǔn)圖案
    • *適合圖案晶圓厚度映射
    • 可以獲取用于圖案對(duì)齊的圖像

     

    設(shè)備嵌入式圖像

    測(cè)量數(shù)據(jù)圖像

     

    測(cè)量點(diǎn)周邊圖像

     

    自適應(yīng)過(guò)程示例

    CMP 流程

    蝕刻工藝

    沉積工藝

    等

    規(guī)格

    OPTM 頭規(guī)格表


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