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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
它是在真空狀態(tài)下對185nm和254nm進(jìn)行輻照處理的裝置。
詳情介紹：
| 用途 |
鏡頭和棱鏡的清潔、改性 和各種基板材料的預(yù)處理 |
|---|---|
| 特點(diǎn) |
真空度為 0 至 0.001Torr ，輻照尺寸為 300×400mm，可用作生產(chǎn)機(jī)器。 |
日本SEN日森特殊光源株式會社
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