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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：SAMCO ICP 蝕刻設(shè)備 RIE-100HiC

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：SAMCO薩姆肯
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場）作為放電形式。 無負(fù)載鎖室的設(shè)備配置可實現(xiàn)低成本和節(jié)省空間，同時配備 2 個盒式磁帶。
    詳情介紹：

    概述

    高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場）作為放電形式。 無負(fù)載鎖室的設(shè)備配置可實現(xiàn)低成本和節(jié)省空間，同時配備 2 個盒式磁帶。

    特點

    ? 4“ 平面內(nèi)均勻性：± 1% 或更少，蝕刻速率：1μm/min 或更高

    500 張連續(xù)加工的批次間穩(wěn)定性：±0.6%

    ? 追求節(jié)省空間和低成本的大氣輸送平臺

    真空夾頭式輸送手在大氣中高速輸送

    應(yīng)用示例

    SiO+ 接觸孔加工

    等離子去污

    光刻膠灰化

    表面改性

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