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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：SAMCO用于研發(fā)的液體源 CVD? 設(shè)備

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：SAMCO薩姆肯
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    PD-100ST 是一種低溫、高速等離子CVD設(shè)備，用于通過 TEOS 形成氧化硅膜 （SiO+），用于液體材料。
    詳情介紹：

    概述

    PD-100ST 是一種低溫、高速等離子CVD設(shè)備，用于通過 TEOS 形成氧化硅膜 （SiO+），用于液體材料。 獨(dú)特的自偏置方法可實(shí)現(xiàn)從薄膜到厚膜的低應(yīng)力高質(zhì)量氧化硅膜的沉積。 它是支持 ±4 英寸的研發(fā)設(shè)備。

    特點(diǎn)

    緊湊設(shè)計(jì)

    專為直徑高達(dá) ±4 英寸的晶圓而設(shè)計(jì)，采用緊湊的設(shè)備設(shè)計(jì)，節(jié)省空間。

    高速沉積和應(yīng)力控制

    采用獨(dú)特的自偏置方法，可在100nm/min以上的高速、低應(yīng)力下進(jìn)行成膜。

    低溫沉積

    可在 80°C 的低溫下沉積。

    階梯覆蓋性優(yōu)異的成膜

    使用液體源 TEOS 的 LSCVD® 方法可實(shí)現(xiàn)具有出色步進(jìn)覆蓋和嵌入特性的沉積。

    控制折射率

    通過添加 Ge、P 和 B 液體源，可以控制折射率。

    應(yīng)用示例

    SAW 器件的溫度補(bǔ)償膜和鈍化膜

    MEMS 面罩和氧化膜犧牲層

    3D 封裝中 TSV（Si 通孔）側(cè)壁的絕緣膜

    光波導(dǎo)的核心層和包層形成

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