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產品名稱：日本ACE排氣壓力控制器EPS-5150
產品型號： EPS-5150
產品廠商：ACE大流量計
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簡單介紹：

主な用途枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロールクリーンブース內の排気圧力コントロール

詳情介紹：

項　目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
接続パイプ口徑 200A 150A 100A
流量範囲（1次側） 0.5 ～ 15 Nm3/min 0.5 ～ 10 Nm3/min 0.3～ 5 Nm3/min
流量が*低流量に満たない場合には設定圧力に到達しない場合があります。
圧力損失 15 Nm3/min（Air）で50Pa 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下
コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
調整圧力範囲（1次側圧力） -50 ～ -999Pa （大気圧との差圧?2次側圧力に依存します）
2次側圧力（バルブ下流圧力）（制御圧力-50）Pa以下
差圧がこの數(shù)値より小さい場合、1次側調整範囲が狹くなります。
圧力精度 ±2% フルスケール
制御リップル（定常制御時の変動） ±1% フルスケール（2次側圧力変動±10Pa以內）
耐圧（1次側の圧力） 50kPa （大気圧との差圧）以內
応答性設定の98%に対し2秒以內（Typical）
流體溫度 10 ～ 50℃
本體環(huán)境溫度（精度保証溫度） 15 ～ 35℃
電源電圧 24V DC ± 10%
外部出力圧力信號　：　1 ～ 5V DC
アラーム： NPN ???????????????? DC 30V < 100mA
コントローラ（CD-100）現(xiàn)場設定もしくは外部設定切換え可能
外部設定信號圧力設定信號： 4 ～ 20mA
バルブ：強制オープン、コントロール
（オプション） Control / Open （C/O）： 24V DC ON/OFF
アラーム信號圧力差異（任意設定）
本體異常（圧力??????の異常も含む）
シリアル通信 RS485
供給Air （N2）圧力 0.3±0.1MPaG
各ポート Φ6mm ワンタッチ（バルブ,電空部）
Φ4㎜ワンタッチ（圧力計測用）
バルブへの供給配管任意
接ガス材質 PVC,　バイトン,　EPDM
取り付け姿勢自由
コントロール弁狀態(tài) 電源OFF時、バルブ狀態(tài)保持
パイプ徑、流量?圧力等上記仕様外のご要望の場合は別途ご相談願います。
排気流量制御が必要な場合は型式DPFCシリーズを準備しております。別途ご相談願います。

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產品名稱：日本ACE排氣壓力控制器EPS-5150