測定範囲(XxYxZ)(mm)

400×400×200

400×400×200

*小表示量(μm)

0.01

0.01

測定精度(E1XY軸)(um)

（0.25＋L/1000）

（0.25＋L/1000）

測定精度(E1Z軸)(um)

（1.5+2L/1000）

（1.5+2L/1000）

測定精度(E2XY平面)(um)

（0.5＋2L/1000）

（0.5＋2L/1000）

ULTRA 測定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時)

（1.0＋2L/1000）

（1.0＋2L/1000）

カメラ

CCD白黒カメラ

CCD白黒カメラ

観察裝置

プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系

プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系

照明 垂直落射照明

ハロゲン

ハロゲン

照明 透過照明

ハロゲン

ハロゲン

照明 リング照明

ハロゲン

ハロゲン

溫度補正機能

自動溫度補正

自動溫度補正

供給空気流量(L/min)(ANR)

300

300

使用空気圧(MPa)

0.4

0.4

精度保証 光學條件

対物レンズ5x(パワータレット2x)

対物レンズ5x(パワータレット2x)

精度保証 溫度(℃)

19?23

19?23

精度保証 溫度変化(℃/H)

0.5/1,1/24

0.5/1,1/24

測定物 *大積載質量(kg)

40

40

本體質量(設置臺含む)(kg)

2025

2025

載物ガラス寸法(mm)

493×551

493×551

本體外観寸法(WxDxH)(mm)

1190×1735×1910

1190×1735×1910

TAF LAF繰返し精度 *大(um)

σ≦0.8

搭載可能機能 TAF

トラッキングオートフォーカス裝置