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產品詳情

  • 產品名稱：裝載端口兼容薄膜厚度測量系統 GS-300Otsuka

  • 產品型號：
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產品價格：0
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簡單介紹：
它是一個具有模式匹配功能和 2um 或更小的 XY 定位精度的系統。
詳情介紹：
  • 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口
  • 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊
  • 支持半導體工藝的高吞吐量要求
  • 支持槽口對齊功能
  • 小尺寸規格
  • TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度
  • 晶圓厚度Φ300mm尺寸
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