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產品詳情

  • 產品名稱：Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

  • 產品型號： ET4000
  • 產品廠商：KOSAKA小坂研究所
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簡單介紹：
Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000
詳情介紹：

Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000

Kosaka小板研究所微細形狀測定機ET4000


微細形狀測定機

ET4000系列

· 高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。


· 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。


· ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。


· ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。

· ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。


· ET4300一適合12"樣品測量。

特長
*大試片尺寸 210×210mm~300×400mm
重現性 1σ 0.5nm以內
測定范圍 Z:100μm X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1μm
測定力

0.5μN~500μN (0.05mg-50mg)


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