-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見光光度計
日本MIKASA株式會社中國代理
日本MIKASA株式會社中國代理：MIKASA光刻機(jī)．旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī)，真空泵日本MIKASA株式會社中國代理：MIKASA光刻機(jī)．旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī)，真空泵日本MIKASA株式會社中國代理：MIKASA光刻機(jī)．旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī)，真空泵日本MIKASA株式會社中國代理：MIKASA光刻機(jī)．旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī)，真空泵
半導(dǎo)體制造工序中的 Mikasa 半導(dǎo)體設(shè)備
晶圓
洗滌
**晶圓表面的臟污及
各種金屬離子
成膜
在高溫擴(kuò)散爐中，形成
表面氧化膜
電路圖案設(shè)計
運(yùn)用 CAD 制作布局、布線
設(shè)計圖。
制作光掩膜
將電路圖案沖印到中間掩
模上（原版照片）
光刻膠涂布
將光刻膠（感光材料）涂抹到晶
圓表面，形成厚度均一的薄膜。
旋轉(zhuǎn)涂膜儀（P4~P11）
（密閉型）
（密閉型）
滴液裝置 可選組件
吸盤
曝光
將光掩膜與晶圓重合，復(fù)制電路
圖案。
光刻機(jī)（P13~P15）
可選組件
顯影
去除曝光部位（正膠）的光刻膠。
顯影裝置（P17、18）
蝕刻
通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路。
蝕刻裝置（P19）
離子注入/濺射
向晶圓注入離子（混雜物）
后，形成半導(dǎo)體。為了形成
電極布線，需蒸鍍晶圓表面
的鋁粉，使其成為薄膜。
品質(zhì)檢查
完成
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater、
光刻膠涂布/
圓表面，形成厚度均一的薄膜。
● MS-B100/ MS-B150
● MS-B200
● MS-B300
● MS-B200（密閉型）
● MS-B300（密閉型）
日本MIKASA光刻機(jī)（P13~P15）
● MA-10
● MA-20
● MA-60F
● M-2LF
● M-1S
日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
去除曝光部位（正膠）的光刻膠。
● AD-3000
●PD-1000
日本MIKASA蝕刻裝置
●ED-1200
●ED-3000
日本MIKASA米卡薩半導(dǎo)體制造用小型裝置：
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，提供一站式服務(wù)。另外，為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī)，可在發(fā)生故障時盡早應(yīng)對，且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題，也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等，從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問，不僅銷售設(shè)備，而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程提供支持。
