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產品名稱：HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X
產品型號： SEC-Z500X
產品廠商：HORIBA堀場
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簡單介紹：

國內總代HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X 多量程/多氣體數字質量流量控制器這是 HORIBA *暢銷的數字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。該質量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設定點）、壓電閥、高速響應和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信模式。

詳情介紹：

總代HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X 國內各區域銷售

高精度 ±1.0% 設定點
該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
高速響應
裝配“可變 PID 系統”，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
多氣體/多量程解決方案
配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量，節省時間和成本。

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產品名稱：HORIBA崛場多量程多氣體數字控制器SEC-Z500X