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氙氣閃光燈
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UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
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UV的水處理
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檢測系統(tǒng)
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光照射裝置
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點光源曝光
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變壓型電源供應(yīng)器
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超高壓短弧汞燈
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UV光洗凈
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UV曝光裝置
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uv固化裝置
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紫外可見光光度計
總代HORIBA崛場半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700MG 國內(nèi)各區(qū)域銷售
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總代HORIBA崛場半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700MG
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工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT
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為流程優(yōu)化提供靈活性
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100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制
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提供高生產(chǎn)力和更大的過程性能
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小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
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為需要小流量的工藝提供靈活性
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PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能
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穩(wěn)定性性和較小的顆粒風(fēng)險，減少停機時間和優(yōu)化產(chǎn)量
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狀態(tài)監(jiān)控功能
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為更智能的故障預(yù)測提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)
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*1 流量精度可低至2 SCCM，因此實際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
*3 設(shè)定時間為 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他細節(jié)定義遵循“SEMI標準 E17-1011章節(jié) 4.1.4”的設(shè)定時間。
*4 壓力擾動必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注冊商標和**技術(shù)，由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權(quán)。
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
