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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機、NEWKON新光、TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ4英寸晶圓或75×75mm基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～8,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負(fù)載時） |
| 電機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ220mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時間設(shè)置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn)蓋 選項 |
| 滴落設(shè)備 | 不可安裝 |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸（mm） | 259W×246H×330D |
| 重量 | 10kg |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持選項
| <定制類型> | >支持<的型號 | |
|---|---|---|
| 自動滴落裝置（空氣驅(qū)動） | 1 臂 | |
| 2 臂 | ||
| 自動滴落裝置（支架類型） | ||
| 邊緣沖洗 | ||
| 反向沖洗 | ||
| 排氣管 | ○ | |
| 廢液排放 | ○ | |
| 蓋子限位開關(guān) | ○ | |
| 特氟龍涂層加工 | ○ | |
| 添加電機廢熱風(fēng)扇 | ○ | |
| 緊急停止開關(guān) | ○ | |
| 大功率電機 | ||
蘇州代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B100
上海代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B100
南京代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B100
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深圳代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀MS-B100
對準(zhǔn)曝光機MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、旋轉(zhuǎn)涂布機MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）顯影刻蝕裝置AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000
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