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產品詳情

  • 產品名稱：代理Otsuka大塚電子OPTM測厚儀

  • 產品型號：
  • 產品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
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簡單介紹：
代理Otsuka大塚電子OPTM測厚儀 覆層膜厚儀 層測厚儀 厚度測量 非接觸式厚度測量儀
詳情介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營各日本品牌工業產品，聯系人：張小姐

聯系電話：15902189399  


產品信息

特點
  • 膜厚測定范圍1nm~92μm（SiO2轉換）
  • 膜厚值高重復精度
  • 1 點 1 秒以內的高速測量
  • 微小點（*小 3μm）可瞄準圖案
  • *適合圖案晶圓厚度映射
  • 可以獲取用于圖案對齊的圖像

 

設備嵌入式圖像

測量數據圖像

 

測量點周邊圖像

 

自適應過程示例

CMP 流程

蝕刻工藝

沉積工藝

等

規格

OPTM 頭規格表


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