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產品名稱：代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀
產品型號：
產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀橢圓偏振光測量儀多功能橢偏儀橢偏儀系統

詳情介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司代理、直營各日本品牌工業產品，聯系人：張小姐

聯系電話：15902189399

產品信息

特點

可在紫外可見（300~800nm）波長范圍內測量橢圓參數
納米級多層薄膜的厚度分析
使用 400ch 或更多多通道光譜快速測量橢圓光譜
通過可變反射角度測量支持薄膜的詳細分析
通過數據庫化光學常數和添加配方注冊功能，提高可操作性

測量項目

橢圓參數（tan= 、cosΔ）測量
光學常數（ n ：折射率， k ：消光系數）分析
厚度分析

測量對象

半導體晶圓
柵極氧化薄膜、氮化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
電阻的光學常數（波長色散）
化合物半導體
鋁_xGa_(1-x)As 多層膜，非晶硅
FPD
對準膜
各種新材料
DLC（Diamond Like Carbon）、超導薄膜、磁頭薄膜
光學薄膜
TiO₂，SiO₂，防反射膜
光刻領域
g 線（436nm）、h 線（405nm）、i 線（365nm）等各波長的 n，k 評價

里·哈拉

將包含 s 波和 p 波的線性偏振光入射到樣品中，以測量反射光的橢圓偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅獨立變化，以獲得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，這是兩種偏振光的轉換參數，具體取決于樣品。

光譜橢圓計原理

tan_ 和 cons_稱為橢圓參數，光譜橢圓測量測量這兩個參數的波長相關光譜。

手勢

類型表達式	FE-5000S	FE-5000
樣本大小	高達 100x100mm	*大 200x200mm
測量方法	旋轉分析儀^*1
測量膜厚范圍（nd）	0.1nm～1μm
入射（反射）角度范圍	45～90°	45～90°
入射（反射）角度驅動方式	自動正弦桿驅動系統
入射點直徑^*2	φ2.0	φ1.2sup^*3
tanψ測量精度	±0.01 或更少
cosΔ 測量精度	±0.01 或更少
薄膜厚度的重復再現性	0.01% 或更少^*4
波長范圍^*5	300～800nm	300～800nm
測量光源	高穩定性 Xenon 燈^*6
舞臺驅動系統	手動	手動/自動
加載器支持	不可以	是
尺寸、重量	650（W)×400（D)×593（H）mm 50kg	1300（W)×890（D)×1750（H）mm 350kg^*7

*1 偏振器可驅動，緩速板可拆卸，對不敏感帶有效。
*2 因短軸和角度而異。
*3 微點對應（可選）
*4 使用 VLSI 標準 SiO2 膜（100nm）時的值。
*5 選擇自動階段時的值。

江蘇地區代理Otsuka大塚電子FE-5000嵌入式膜厚儀

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