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產品詳情
簡單介紹：
AP160Mは半導體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
詳情介紹：
型式 AP160M
主な用途 半導體用
対象ガス 半導體プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設定 コンピューター等から圧力設定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0～500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時間 設定値到達まで1秒
入力信號 05VDC Cont/Close
R485
外部センサ入力 （420A 可）
出力信號 アラーム出力RS485.0～5VDC
継手 1/4〃VCR相當品
シートリーク 10-6Pa?m3/秒以下
精度 ±5kPa（800kPaFS時）
電源電圧 24VDC±10％
消費電流 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り（內蔵）
表示設定器 裝備せず
主な用途 半導體用
対象ガス 半導體プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設定 コンピューター等から圧力設定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0～500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時間 設定値到達まで1秒
入力信號 05VDC Cont/Close
R485
外部センサ入力 （420A 可）
出力信號 アラーム出力RS485.0～5VDC
継手 1/4〃VCR相當品
シートリーク 10-6Pa?m3/秒以下
精度 ±5kPa（800kPaFS時）
電源電圧 24VDC±10％
消費電流 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り（內蔵）
表示設定器 裝備せず
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