測定範囲(XxYxZ)(mm)

250×200×150mm（250×200×118mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）

400×400×200mm（400×400×168mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）

250×200×150mm（250×200×118mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）

400×400×200mm（400×400×168mm:対物レンズ Z-objective 1×使用時）

*小表示量(μm)

0.1

0.1

0.1

0.1

測定精度(E1XY軸)(um)

（2+3L/1000）

（2+3L/1000）

（2+3L/1000）

（2+3L/1000）

測定精度(E1Z軸)(um)

（3+5L/1000）

（3+5L/1000）

（3+5L/1000）

（3+5L/1000）

測定精度(E2XY平面)(um)

（2.5+4L/1000）

（2.5+4L/1000）

（2.5+4L/1000）

（2.5+4L/1000）

測長ユニット

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

カメラ

CMOSカラーカメラ

CMOSカラーカメラ

CMOSカラーカメラ

CMOSカラーカメラ

観察裝置

Zoom ユニット（8 ポジション）

Zoom ユニット（8 ポジション）

Zoom ユニット（8 ポジション）

Zoom ユニット（8 ポジション）

照明 垂直落射照明

白色LED

白色LED

白色LED

白色LED

照明 透過照明

白色LED

白色LED

白色LED

白色LED

照明 リング照明

4 分割固定式 白色LED

4 分割固定式 白色LED

4 分割固定式 白色LED

4 分割固定式 白色LED

精度保証 光學條件

対物レンズZ-objective 1.5x(Zoom倍率5.25x)

対物レンズZ-objective 1.5x(Zoom倍率5.25x)

対物レンズZ-objective 1.5x(Zoom倍率5.25x)

対物レンズZ-objective 1.5x(Zoom倍率5.25x)

精度保証 溫度(℃)

20±1

20±1

18～23

18～23

測定物 *大積載質量(kg)

10

20

10

20

本體質量(設置臺含む)(kg)

155

324

155

324

載物ガラス寸法(mm)

311×269

466×480

311×269

466×480

本體外観寸法(WxDxH)(mm)

570×767×1468

776×1303×1529

570×767×1468

776×1303×1529

溫度補正機能

手動溫度補正

手動溫度補正

TP測定精度(E1XYZ軸)um

2.4+3L/1000

2.