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產品名稱：OPTM顯微分光膜厚儀OPTM-A3Otsuka大塚
產品型號： OPTM-A3
產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

頭部集成了薄膜厚度測量所需功能通過顯微光譜法測量高精度**反射率（多層OPTM顯微分光膜厚儀OPTM-A3Otsuka大塚膜厚度，光學常數） 1點1秒高速測量顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外至近紅外）區域傳感器的**機制易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析獨立測量頭對應各種inline客制化需求支持各種自定義 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Ots

詳情介紹：

顯微分光膜厚儀OPTM series

特點

頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學常數）
1點1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學系統（紫外至近紅外）
區域傳感器的**機制
易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義

使用顯微光譜法在微小區域內通過**反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數的軟件

OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3

波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm

膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm

測定時間 1秒 / 1點

光斑大小 10μm (*小約5μm)

感光元件 CCD InGaAs

光源規格氘燈+鹵素燈鹵素燈

電源規格 AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規格）

尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)

重量約 55kg（自動樣品臺規格之主體部分）

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測定時間	1秒 / 1點
光斑大小	10μm (*小約5μm)
感光元件	CCD	InGaAs
光源規格	氘燈+鹵素燈	鹵素燈
電源規格	AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)
重量	約 55kg（自動樣品臺規格之主體部分）

*目前蘇州地區有樣機可供測試

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產品名稱：OPTM顯微分光膜厚儀OPTM-A3Otsuka大塚

顯微分光膜厚儀OPTM series