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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000
詳情介紹：
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000
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Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機ET4000
微細(xì)形狀測定機
ET4000系列
· 高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機型。
· 是多機能的全自動微細(xì)形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
· ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
· ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機。
· ET4300一適合12"樣品測量。
| *大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100μm X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
| 測定力 |
0.5μN~500μN (0.05mg-50mg) |
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