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產品詳情

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產品名稱：OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300
產品型號：SF-3/1300
產品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

　SF-3/1300 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/1300

詳情介紹：

SF-3/1300

OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計

用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。

特長

非接觸、非破壞可進行厚度測量

反射光學系統（可以通過一方的接觸來測量）

高速性（*快5ks）且可實時評價

實現高的穩定性（重復精度0.01%）

粗枝大葉

可以對應任何距離

對應多層結構（*大5層）

內置NG數據的功能

可以測量距離（形狀）（組入傳感器的附屬選項）*

*根據測量范圍內的光學距離測量

Point1：獨自の技術で

幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現。
大塚電子獨自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

Point2：高速対応

移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
工場の生産ラインにも*適です。

Point3：さまざまな表面狀態のサンプルに対応

約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面狀態のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

Point4：さまざまな環境に対応

*大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

測定項目

厚み測定（５層）

用途

各種の厚膜部材厚み

仕様

SF-3仕様

＊1 ：測定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。
＊2 ：製品出荷基準の保証値スペックとなり、當初基準サンプルAirGap約300μmと
約1000μm測定時の相対標準偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mmプローブ仕様時の設計値
＊4 ：特別仕様
＊5 ：薄膜測定時に使用
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300